Nguvu ya Microwave
-
Nguvu ya Microwave
Ugavi wa umeme wa kubadilisha microwave ni aina mpya ya usambazaji wa umeme wa microwave kulingana na teknolojia ya kibadilishaji cha masafa ya juu ya IGBT.Inajumuisha usambazaji wa umeme wa anode ya juu, ugavi wa umeme wa filament na ugavi wa nguvu wa shamba la magnetic (isipokuwa umeme wa microwave 3kW).Magnetron ya wimbi hutoa hali ya kazi.Bidhaa hii inatumika katika MPCVD, microwave plasma etching, microwave plasma degumming na nyanja nyingine.