Inaweza kubadilishwa kwa ugavi wa umeme wa RLS mfululizo wa RF, na hutumiwa sana katika etching ya plasma, mipako, kusafisha plasma, degumming ya plasma na michakato mingine.Inapotumiwa peke yake, inaweza kutumika pamoja na vifaa vya umeme vya RF vya wazalishaji wengine.