Ugavi wa umeme wa RF wa mfululizo wa RHH unategemea teknolojia ya uzalishaji wa RF iliyokomaa ili kuwapa wateja ugavi wa umeme wa RF kwa nguvu kubwa, usahihi wa juu na majibu ya haraka.Na awamu inaweza kuweka, kunde kudhibitiwa, tuning digital na kazi nyingine.Sehemu zinazotumika: tasnia ya photovoltaic, tasnia ya onyesho la paneli bapa, tasnia ya semiconductor, tasnia ya kemikali, maabara, utafiti wa kisayansi, utengenezaji n.k.
Michakato inayotumika: uwekaji wa plasma ulioimarishwa wa mvuke wa kemikali (PECVD), uwekaji wa plazima, usafishaji wa plazima, chanzo cha ioni za masafa ya redio, uenezaji wa plazima, unyunyizaji wa upolimishaji wa plasma, utelezi tendaji, n.k.